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정밀 플라즈마 에칭 및 폴리싱 기계 500W 플라즈마 폴리싱 장비
제어 시스템: | 터치 스크린 plc 제어 |
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가스 유량: | 0-100Sccm |
플라즈마 챔버 크기: | 300mm X 300mm X 300mm |